パイロットファーム

広作業領域を持つ高速原子間力顕微鏡の開発

工学系部門 機械工学講座

伊藤 慎吾 教授

研究課題カテゴリー 機械 , 電気電子 , 科学
研究課題名にあてはまる項目 プロセス・工法・要素技術などの開発 , 測定・評価方法(医療・バイオ含む) , 製品開発(繊維、工業製品、医薬品、医療機器など)
研究概要

原子間力顕微鏡(AFM)は鋭い短針を用いることで、ナノレベルでのイメージングや加工を可能にする。真空中・水中・空気中などの環境で使用でき、半導体や絶縁体にも対応できる。ところが、AFMの作業領域を広げると作業速度が低下する問題が知られている。
本研究は、上述のトレードオフを打ち破り、広作業領域を持つ高速AFMを開発する。外力や熱などで膨張・収縮する試料のナノレベルでのリアルタイム観察や、船上や生産ライン内のような現場におけるAFMの運用が実現できる。

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研究概要図

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